GOST 26239.0-84
GOST 26239.0−84-Silizium-Festkörper -, Quell-Produkte zum Erhalt und Quarz. Allgemeine Anforderungen an die Methoden der Analyse
GOST 26239.0−84
Gruppe В59
DER STAATLICHE STANDARD DER UNION DER SSR
SILIZIUM-FESTKÖRPER -, QUELL-PRODUKTE ZUM ERHALT UND QUARZ
Allgemeine Anforderungen an die Methoden der Analyse
Semiconductor silicon, raw materials for its production and quartz. General requirements for methods of analysis
ОКСТУ 1709
Gültigkeit: ab 01.01.86
bis 01.01.91*
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* Beschränkung der Laufzeit aufgehoben
über N 7−95 Zwischenstaatlichen Rats
für Normung, Metrologie und Zertifizierung
(IUS N 11, 1995). — Anmerkung des Datenbankherstellers.
Wurde vom Ministerium für Metallurgie der UdSSR
DARSTELLER
J. A. Karpov, M. N. Щулепников, M. K. Vinnikov, G. G. Главин, N. Und. Градскова, O. W. Sawjalow, D. I. Зяблова, W. E., Quinn, C. A. Krylow, I. A. Kuzovlev, N. Und. Марунина, VG Мискарьянц, W. M. Mikhailov, M. G. Nazarov, V. A. Orlov, A. I. Stepanow, N. Mit. Syssojewa, V. I. Firsow, I. G. Alexandrow
EINGEFÜHRT durch das Ministerium für Metallurgie der UdSSR
Mitglied Des A. P. Снурников
GENEHMIGT UND IN Kraft gesetzt durch die Verordnung des Staatlichen Komitees der UdSSR nach den Standards vom 13. Juli 1984 N 2490
1. Diese Norm legt die Allgemeinen Anforderungen an Verfahren zur Analyse von Halbleiter-Silizium, Ausgangsmaterialien, um es zu erhalten (technisches Silizium, четыреххлористый Silizium, хлорсиланы, Siliciumdioxid) und Quarz.
2. Allgemeine Anforderungen an die Methoden der Analyse nach GOST 26239.0−84 (ST SEV 314−76).
3. Auswahl und Vorbereitung der Proben zur Analyse erfolgt nach den normativ-technischen Dokumentation.
4. Die analysierten Proben und die verwendeten Materialien für die Probenvorbereitung und Vergleiche von Standardlösungen, gewogen mit einer Abweichung von nicht mehr als 0,0002 G.
5. Für die Entnahme von Chargen verwenden die analytischen Präzisionswaagen Typ LEITUN-200-M oder WLR-20G, technische Personenwaage VAC-1, Torsion Waage W-500 GOST 13718−68 oder ähnliche Typen.
6. Zum erhitzen von Lösungen verwendet elektrische Fliesen mit einer geschlossenen Spirale nach GOST 14919−83.
7. Für die Herstellung von Lösungen und die Durchführung von Analysen verwendet destilliertes Wasser nach GOST 6709−72 und Reagenzien Qualifikation nicht unterhalb der H. D. A., sofern nicht anders angegeben.
8. Für die Analyse verwenden die gemessenen Lab Ware nicht unter der zweiten Genauigkeitsklasse nach GOST 20292−74* (Bürette, Pipette) und GOST 1770−74 (Zylinder, Becher, Flaschen) sowie Glaswaren (Bechergläser, konische Kolben etc.) nach GOST 25336−82, glühschälchen, Porzellan, GOST 9147−80, Quarz-Tiegel nach GOST 19908−80**, Trichter Glas делительные und konisch nach GOST 25336−82, бюксы Glas nach GOST 25336−82, exsikkatoren nach GOST 25336−82, das Geschirr aus glaskohlenstoff verwendet wird Marke SU-2000.
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* Auf dem Territorium der Russischen Föderation gelten GOST 29169−91, GOST 29227−91-GOST 29229−91, GOST 29251−91-GOST 29253−91;
** Auf dem Territorium der Russischen Föderation gilt GOST 19908−90. — Anmerkung des Datenbankherstellers.
9. Verwenden Sie andere Instrumente, Materialien, Utensilien und Reagenzien, unter Erhalt der metrologischen Eigenschaften, die nicht schlechter als die in den entsprechenden Normen auf Methoden der Analyse.
10. In den Normen auf die Methoden der Analyse sind Werte der zulässigen Abweichungen bei einem Konfidenzniveau von 0,95 oder
0,90 für mehrere Werte der Massen-Anteil. Die zulässigen Abweichungen für Zwischenwerte berechnet mit der Methode der linearen Interpolation.
11. Die überprüfung der Richtigkeit der Analyseergebnisse des Halbleiter Silizium oder Ausgangsmaterialien für den Erhalt verbringen mindestens einmal im Monat und mindestens einmal im Monat, wo
— die Anzahl der Proben, analysierten pro Monat, unter Verwendung der gleichen Apparatur, Reagenzien und Materialien.
12. Richtigkeit der Analyseergebnisse Weise kontrollieren, die in den entsprechenden staatlichen Standards auf den Methoden der Analyse.
13. Sicherheitsanforderungen bei der Durchführung von Analysen Halbleiter Silizium und Ausgangsmaterialien erhalten — nach der normativ-technischen Dokumentation. Die Reihenfolge der Arten und die Ausbildung der Mitarbeiter von Arbeitssicherheit erfolgt in übereinstimmung mit GOST 12.0.004−79*.
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* Auf dem Territorium der Russischen Föderation gilt GOST 12.0.004−90. — Anmerkung des Datenbankherstellers.