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GOST 24392-80

GOST 33729-2016 GOST 20996.3-2016 GOST 31921-2012 GOST 33730-2016 GOST 12342-2015 GOST 19738-2015 GOST 28595-2015 GOST 28058-2015 GOST 20996.11-2015 GOST 9816.5-2014 GOST 20996.12-2014 GOST 20996.7-2014 GOST P 56306-2014 GOST P 56308-2014 GOST 20996.1-2014 GOST 20996.2-2014 GOST 20996.0-2014 GOST 16273.1-2014 GOST 9816.0-2014 GOST 9816.4-2014 GOST P 56142-2014 STAATLICHE NORM P 54493-2011 GOST 13498-2010 STAATLICHE NORM P 54335-2011 GOST 13462-2010 STAATLICHE NORM P 54313-2011 STAATLICHE NORM P 53372-2009 GOST P 53197-2008 GOST P 53196-2008 GOST P 52955-2008 GOST P 50429.9-92 GOST 6836-2002 GOST 6835-2002 GOST 18337-95 GOST 13637.9-93 GOST 13637.8-93 GOST 13637.7-93 GOST 13637.6-93 GOST 13637.5-93 GOST 13637.4-93 GOST 13637.3-93 GOST 13637.2-93 GOST 13637.1-93 GOST 13637.0-93 GOST 13099-2006 GOST 13098-2006 GOST 10297-94 GOST 12562.1-82 GOST 12564.2-83 GOST 16321.2-70 GOST 4658-73 GOST 12227.1-76 GOST 16274.0-77 GOST 16274.1-77 GOST 22519.5-77 GOST 22720.4-77 GOST 22519.4-77 GOST 22720.2-77 GOST 22519.6-77 GOST 13462-79 GOST 23862.24-79 GOST 23862.35-79 GOST 23862.15-79 GOST 23862.29-79 GOST 24392-80 GOST 20997.5-81 GOST 24977.1-81 GOST 25278.8-82 GOST 20996.11-82 GOST 25278.5-82 GOST 1367.7-83 GOST 26239.9-84 GOST 26473.1-85 GOST 16273.1-85 GOST 26473.2-85 GOST 26473.6-85 GOST 25278.15-87 GOST 12223.1-76 GOST 12645.7-77 GOST 12645.1-77 GOST 12645.6-77 GOST 22720.3-77 GOST 12645.4-77 GOST 22519.7-77 GOST 22519.2-77 GOST 22519.0-77 GOST 12645.5-77 GOST 22517-77 GOST 12645.2-77 GOST 16274.9-77 GOST 16274.5-77 GOST 22720.0-77 GOST 22519.3-77 GOST 12560.1-78 GOST 12558.1-78 GOST 12561.2-78 GOST 12228.2-78 GOST 18385.4-79 GOST 23862.30-79 GOST 18385.3-79 GOST 23862.6-79 GOST 23862.0-79 GOST 23685-79 GOST 23862.31-79 GOST 23862.18-79 GOST 23862.7-79 GOST 23862.1-79 GOST 23862.20-79 GOST 23862.26-79 GOST 23862.23-79 GOST 23862.33-79 GOST 23862.10-79 GOST 23862.8-79 GOST 23862.2-79 GOST 23862.9-79 GOST 23862.12-79 GOST 23862.13-79 GOST 23862.14-79 GOST 12225-80 GOST 16099-80 GOST 16153-80 GOST 20997.2-81 GOST 20997.3-81 GOST 24977.2-81 GOST 24977.3-81 GOST 20996.4-82 GOST 14338.2-82 GOST 25278.10-82 GOST 20996.7-82 GOST 25278.4-82 GOST 12556.1-82 GOST 14339.1-82 GOST 25278.9-82 GOST 25278.1-82 GOST 20996.9-82 GOST 12554.1-83 GOST 1367.4-83 GOST 12555.1-83 GOST 1367.6-83 GOST 1367.3-83 GOST 1367.9-83 GOST 1367.10-83 GOST 12554.2-83 GOST 26239.4-84 GOST 9816.2-84 GOST 26473.9-85 GOST 26473.0-85 GOST 12645.11-86 GOST 12645.12-86 GOST 8775.3-87 GOST 27973.0-88 GOST 18904.8-89 GOST 18904.6-89 GOST 18385.0-89 GOST 14339.5-91 GOST 14339.3-91 GOST 29103-91 GOST 16321.1-70 GOST 16883.2-71 GOST 16882.1-71 GOST 12223.0-76 GOST 12552.2-77 GOST 12645.3-77 GOST 16274.2-77 GOST 16274.10-77 GOST 12552.1-77 GOST 22720.1-77 GOST 16274.4-77 GOST 16274.7-77 GOST 12228.1-78 GOST 12561.1-78 GOST 12558.2-78 GOST 12224.1-78 GOST 23862.22-79 GOST 23862.21-79 GOST 23687.2-79 GOST 23862.25-79 GOST 23862.19-79 GOST 23862.4-79 GOST 18385.1-79 GOST 23687.1-79 GOST 23862.34-79 GOST 23862.17-79 GOST 23862.27-79 GOST 17614-80 GOST 12340-81 GOST 31291-2005 GOST 20997.1-81 GOST 20997.4-81 GOST 20996.2-82 GOST 12551.2-82 GOST 12559.1-82 GOST 1089-82 GOST 12550.1-82 GOST 20996.5-82 GOST 20996.3-82 GOST 12550.2-82 GOST 20996.8-82 GOST 14338.4-82 GOST 25278.12-82 GOST 25278.11-82 GOST 12551.1-82 GOST 25278.3-82 GOST 20996.6-82 GOST 25278.6-82 GOST 14338.1-82 GOST 14339.4-82 GOST 20996.10-82 GOST 20996.1-82 GOST 12645.9-83 GOST 12563.2-83 GOST 19709.1-83 GOST 1367.11-83 GOST 1367.0-83 GOST 19709.2-83 GOST 12645.0-83 GOST 12555.2-83 GOST 1367.1-83 GOST 9816.3-84 GOST 9816.4-84 GOST 9816.1-84 GOST 9816.0-84 GOST 26468-85 GOST 26473.11-85 GOST 26473.12-85 GOST 26473.5-85 GOST 26473.7-85 GOST 16273.0-85 GOST 26473.3-85 GOST 26473.8-85 GOST 26473.13-85 GOST 25278.13-87 GOST 25278.14-87 GOST 8775.1-87 GOST 25278.17-87 GOST 18904.1-89 GOST 18904.0-89 GOST P 51572-2000 GOST 14316-91 GOST P 51704-2001 GOST 16883.1-71 GOST 16882.2-71 GOST 16883.3-71 GOST 8774-75 GOST 12227.0-76 GOST 12797-77 GOST 16274.3-77 GOST 12553.1-77 GOST 12553.2-77 GOST 16274.6-77 GOST 22519.1-77 GOST 16274.8-77 GOST 12560.2-78 GOST 23862.11-79 GOST 23862.36-79 GOST 23862.3-79 GOST 23862.5-79 GOST 18385.2-79 GOST 23862.28-79 GOST 16100-79 GOST 23862.16-79 GOST 23862.32-79 GOST 20997.0-81 GOST 14339.2-82 GOST 12562.2-82 GOST 25278.7-82 GOST 20996.12-82 GOST 12645.8-82 GOST 20996.0-82 GOST 12556.2-82 GOST 25278.2-82 GOST 12564.1-83 GOST 1367.5-83 GOST 25948-83 GOST 1367.8-83 GOST 1367.2-83 GOST 12563.1-83 GOST 9816.5-84 GOST 26473.4-85 GOST 26473.10-85 GOST 12645.10-86 GOST 8775.2-87 GOST 25278.16-87 GOST 8775.0-87 GOST 8775.4-87 GOST 12645.13-87 GOST 27973.3-88 GOST 27973.1-88 GOST 27973.2-88 GOST 18385.6-89 GOST 18385.7-89 GOST 28058-89 GOST 18385.5-89 GOST 10928-90 GOST 14338.3-91 GOST 10298-79 GOST P 51784-2001 GOST 15527-2004 GOST 28595-90 GOST 28353.1-89 GOST 28353.0-89 GOST 28353.2-89 GOST 28353.3-89 STAATLICHE NORM P 52599-2006

GOST 24392−80

INTERSTATE STANDARD

SILIZIUM UND GERMANIUM FOLIENKASCHIERUNG

MESSUNG DES SPEZIFISCHEN ELEKTRISCHEN WIDERSTANDS ЧЕТЫРЕХЗОНДОВЫМ METHODE

Die offizielle Ausgabe

BZ 10−99

IPK-VERLAG STANDARDS Moskau

UDK 669.782/.783−172:621.317.33:006.354 Gruppe В59

INTERSTATE STANDARD

SILIZIUM UND GERMANIUM-EINKRISTALL UND ČESKÝ E

GOST

Und).мереиис spezifischen elektrischen Widerstand 1 1

vier зонловым метолом 24392−80

Monocrystalline silicon and germanium.

Measurement of the electrical resistivity by the rhynchosia-probe method

ОКСТУ 1770

Datum der Luftwaffe.1СНМЯ 01.01.81

Diese Norm legt четырехзондовый Methode zur Messung des spezifischen elektrischen Widerstands auf einer flachen Oberfläche monokristalline Ingots Silizium und Germanium elektronischen oder дырочного Typ Leitfähigkeit in einem Bereich von Werten des spezifischen elektrischen Widerstands von Mo-4 Ω cm 1 bis 10* OHM cm.

Die Methode basiert auf der Messung der Potentialdifferenz zwischen zwei Sonden четырехзондовой Messkopf, die auf der Oberfläche des kontrollierten образна, wenn ein elektrischer Strom einer bestimmten Größe durch die beiden anderen Punkt-Sonde, die auf der gleichen Oberfläche, und berechnen des spezifischen elektrischen Widerstands.

(Geänderte Fassung, Bearb. Nummer 2).

I. Apparate UND MATERIALIEN

Blockschaltbild des messaufbaus ist in der Zeichnung dargestellt.

4

/ — Chet ырехзонловая und верительная Tor er ka: 2 — Quelle пасюки wen Deca:

3 — ein Gerät für die Absichten der elektrischen Spannung: 4 — Probe

Измерите.тьная Installation muss bestätigt auf den Fehler der Messung des spezifischen elektrischen Widerstands, nicht mehr als 5%.

1.1. Mess четырехзондовая Kopf mit vier Linear angeordneten Sonden aus Wolframcarbid sollte den Anforderungen der folgenden Tabelle. 1.

Tabelle 1

Sollwert межюндопою cm Abstand Zulässige Abweichung межюндопою Entfernung. % Die Andruckkraft zoila F. N Липейный Größe der плошалки Sonde, äh, nicht mehr
0,159
0.130 11 0.50−2.00 60
0.075
Die offizielle Ausgabe Nachdruck verboten

© Verlag Standards. 1980 £> Und P. C. Verlag — Standards. 2001

S. 2 GOST 24392−80

1.2. Eine Konstantstromquelle, die den erstellen im Meßkreis des elektrischen Stroms variabler Polarität, entsprechen soll, wie in der Tabelle gezeigt. 2. Tabelle 2

Die Obere Grenze und «меряемого spezifischen элеюрического Widerstand R. OHM cm Всрхннн Grenze des elektrischen Stromes /. Und Die Obere Grenze der messbaren elektrischen Spannung V, Eingang der elektrische Widerstand des Messgerätes Lm. OHM, nicht weniger
-3 1,010-' 2,1 10-1 1I03
1 10-G 1,010-' 2,1−10-3 Mo4
1−10-« 1,010' 2.1 10-3 1 101
1 10° 8,2 10~2 Koyu-' IOS6
I101 8,2 10-3 1,010-' Ы0T
Mo2 8,2−10-4 1,010-' 110*
NACH3 8,2 10* 1,010-' 2−10*
Mo* 8,2−10-6 1,010-' nach9

1.2.1. Zulässige Instabilität des elektrischen Stroms während der Messung sollte nicht mehr als 0,5%.

1.2.2. Messabweichung der Stärke des elektrischen Stromes — nicht mehr als 0.5%.

1.3. Gerät zur Messung der elektrischen Spannung mit einer Abweichung von nicht mehr als 1% benötigt, um die Anforderungen, wie in der Tabelle gezeigt. 2.

1.4. Isolationswiderstand mess-Schema muss mindestens die Eingangsimpedanz des Messgerätes.

1.5. Hilfsgeräte und Materialien

Thermometer mit einer Genauigkeit der Messung nicht mehr als 0,5 *C

Abrasive Materialien nach GOST 3647.

Werkzeuge mit der Anwendung Diamant Diamantpulver nach GOST 9206.

Pulver Diamant.

Filterpapier nach GOST 12026.

Papier das promokatelnaja.

Calico gebleicht nach GOST 2929S.

Material Wipe-out — Verpackungsmaterial, Gewebe Art.-Nr. 6313 6304 oder.

Trinkwasser nach GOST 2874*.

Ethylalkohol nach GOST 18300.

Erlaubt die Verwendung von Werkzeugen und Materialien, nicht schlechter als die oben genannten in seinen Eigenschaften und Qualität.

2. PROBENVORBEREITUNG UND MESSBEDINGUNGEN

2.1. Die Messungen auf Ebenen Oberflächen, die Parameter Rauheit Ra nach GOST 2789 nicht mehr als 2.5 µm. Die Messung des spezifischen elektrischen Widerstandes von Silicium eine P-Typ Leitfähigkeit mit P mehr als 10J Ω cm führen auf Ebenen Flächen mit der Option Rauheit R. im Bereich (20

2.1. G, Um die gewünschte Oberflächenrauhigkeit Ausschnitt Schleifen schleifendes oder diamantbestückten Werkzeugen mit dem Einsatz von Diamant-Pulver.

2.1.2. Nach dem Schleifen der Proben gewaschen fließendes Trinkwasser oder gereinigtem Brauchwasser, getrocknet Filterpapier (blotting) mit Papier oder anderen Materialien und mit Alkohol entfettet.

2.2. Bei der Durchführung der Messungen der Abstand zwischen dem Rand (der Rand der Ebene) zu ihm und seinem nächsten Sonde muss mindestens 4 /0, wobei /0 — Sollwert межзондового Abstand.

2.3. Bei der Messung des spezifischen elektrischen Widerstands auf der erzeugenden Breite Barren mess-Titel sollte nicht weniger als 6 /0.

2.4. Messung durchführen bei einer festen Temperatur (23±2) 'S. Kontrollierte Ausschnitt angepasst an die Temperatur, bei der die Messung durchgeführt. Erlaubt die Durchführung von Messungen-

1

Auf dem Territorium der Russischen Föderation gilt GOST R 51232−98.

GOST 24392−80 S. 3

Niy bei festen mit einer Genauigkeit von ±0,5 'Mit einer Temperatur im Bereich von (23±5) «Mit, indem die Temperaturkorrektur Ergebnisse der Messungen gemäß Anhang.

2.5. Die Messung des spezifischen elektrischen Widerstands von Deutschland mit mehr als 45 P Омсм und Silizium mit P mehr als 200 OHM cm führen bei Verdunkelung der Probe. Für die übrigen Bereiche des spezifischen elektrischen Widerstands darf die Beleuchtungsstärke der Proben diffusen Licht nicht mehr als 500 Lux.

3. DIE DURCHFÜHRUNG DER MESSUNG UND VERARBEITUNG DER ERGEBNISSE

3.1. Auf die Oberfläche der Probe, welcher in den Halter, sanft senken die Sonden senkrecht zu den Oberflächen-Messkopf.

3.2. Durch eine Probe ein elektrischer Strom fließen / und Messen der Differenzwert потенциачов zwischen den potenziellen Sonden bei zwei полярностях des elektrischen Stroms. Für das Ergebnis der Messung der Potentialdifferenz U nehmen das arithmetische Mittel der erhaltenen Werte. Der Wert des elektrischen Stroms wird in übereinstimmung mit den Anforderungen der Tabelle. 2.

3.3. Der berechnete Wert der spezifischen elektrischen Widerstands r, Ω cm, nach der Formel (1)

wo U — Wert der Potentialdifferenz. In:

/- der Wert des elektrischen Stroms, bei dem die Messung durchgeführt. L;

/, FF — effektive Wert межзондового Distanz, berechnete nach der Formel (2)

(2)

wo /, /2, /3 — der Abstand zwischen der ersten und zweiten, zweiten und Dritten, Dritten und vierten Sonden

bzw.

Bei der Verwendung четырехзондовой des Kopfes, bei dem Abweichungen межзондового Abstand vom Sollwert /0 nicht mehr als ±1%, in die Formel (2) substituiert Wert / = /0.

3.4. Erlaubt die Durchführung von Messungen und Auswertungen, die mithilfe der Automatisierung erfolgt nach den Bestimmungen in dieser Norm.

Kap. 1−3. (Geänderte Fassung, Bearb. Nummer 2).

4. DARSTELLUNG DER MESSWERTE UND NORMEN AUF GENAUIGKEITEN

4.1. Das Ergebnis der Messung des spezifischen elektrischen сопротиаления яашется Wert, berechnet nach der Formel (I).

4.2. Die zufällige Komponente der Messunsicherheit des spezifischen elektrischen сопротиале-ment, die схолимость Ergebnisse der Messungen nicht mehr als ±2% bei einem Konfidenzniveau von P = 0.95.

4.3. Die gesamte Messfehler nicht mehr als ±5% bei der Kontrolle von Proben mit P<103 OHM-cm und nicht größer als ±8% bei der Kontrolle von Proben mit einem spezifischen elektrischen Widerstand von mehr als 103 OHM-cm bei einem Konfidenzniveau von P = 0.95.

4.4. Das Ergebnis der Messung des spezifischen elektrischen Widerstands предстааляют трехзначным Zahl, wenn die erste Ziffer des яаляются 1, 2, 3, und eine, wenn die erste Ziffer mehr als 3.

Kap. 4. (Zusätzlich eingeführt. Bearb. Nummer 2).

S. 4 GOST 24392−80

APP

Die obligatorische

Das Ergebnis der Messung des spezifischen elektrischen Widerstands führen zu einer Temperatur von ^ = 23 'C nach der Formel

Wp (3)

0 *! — Mit (/-%)'

wobei P — der spezifische elektrische Widerstand. OHM cm;

C — Temperaturkoeffizient (Tab. 1, 2);

/ — die Nenntemperatur im Bereich von (23±5) 4 S; P, — spezifische элскгрическое Widerstand bei 23 'S. G*

Das Ergebnis der Messung des spezifischen elektrischen Widerstands sein kann, ist zu jedem nominellen Temperatur innerhalb des Bereichs von (23±5) «S.

Tabelle I

Temperatur für Silizium коэффиииет Ишерпал spezifischen elektrischen Widerstands

über

mit

P

in

0.0001 -0.004 0.004 — 0.04 0.04−0.1 0.1−1.0   1.0−10.0 10,0−10000

L-Typ,

1/deg

 0,002 0.001 0.004 0.006   0.008 0.008

P-Typ,

1/deg

 0.001 0.001 0,003 0,006   0,008 0.009

Таблипа 2

Тсмиер: пурный zu >ффиииен ■ für Deutschland Ишерпал spezifischen elektrischen Widerstands. OHM cm
0.0001−0.001 0.001−0.01 0.01−0.1 0.1−1.0 1.0−10 10−100
ich-Typ, 1/deg 0,002 0,001 0,004 0.006   0.006 0.006
P-Typ, 1/deg 0,002 0.002 0,004 0,007   0,008 0.008

APP. (Geänderte Fassung, Bearb. Nummer 2).

GOST 24392−80 S. 5

ИНФОРМАЦИОННЫ DATEN E

1. ENTWICKELT UND EINGEFÜHRT durch das Ministerium für Metallurgie der UdSSR

2. GENEHMIGT UND IN Kraft gesetzt durch die Verordnung des Staatlichen Komitees der UdSSR nach den Standards von 15.09.80 NR 4705

3. GOST 24392−80 entspricht ST SEV 1250−78

4. EINGEFÜHRT ZUM ERSTEN MAL

5. REFERENZIELLE NORMATIV-TECHNISCHE DOKUMENTE

Обошачеимс NTD. auf die verwiesen wurde Artikelnummer Обошаченме NTD. Nm die Lama-Link Artikelnummer
GOST 2789−73 2.1 GOST 12026−76 1.5
GOST 2874−82 1.5 GOST 18.300−87 1.5
GOST 3647−80 1.5 GOST 29298−92 1.5
GOST 9206−80 1.5

6. Die Beschränkung der Laufzeit aufgehoben durch das Protokoll)' Nr. 5−94 Zwischenstaatlichen Rats, aber die Standardisierung. Metrologie und Zertifizierung (ICC 11−12−94)

7. AUSGABE (März 2001) mit änderung Nr. I, 2, genehmigt im Mai 1985, Krankenschwester 1990 (IUS 8−85, 10−90)

Editor o.ä. Шашипа Technischer Redakteur L. L. Гусгша Concealer E. V. Nesterov Desktop Publishing L. A. Kreisförmige

Über. Personen N: 1)2354 von 1−1.07.2000. Verzichtet im Set 10.04.2001. Signiert im Druck 20.04.2001. Уел. Pécs. L. 0.93.

Uch.*Geb. ich. 0,50. Auflage 117 zh. Mit 816. Zach. 455.

IPK-Verlag Standards 107076. Moskau. Колодезник Federn… 14.

Наордио und Verlag auf dem PC Zweigniederlassung IPK Und тдатсльство Standards — Typ. «Die Moskauer Buchdrucker*. 103062. Moskau. Lyalin per… 6.

PCR 0S0I02